8寸及8寸以下全自动槽式湿法工艺制程设备（Fully Automated Wet Bench Process Equipment For 8-inch and below）

适用场景：8寸及8寸以下酸碱刻蚀、外延片清洗、去胶清洗、Pre-metal、最终清洗等
设备特点：
1、设备实现自动作业，自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案
2、设备可依据客户工艺需求设计对应模块
3、可根据客户产值要求制定单篮/双篮每批
4、可支持多批次清洗提升产量
5、化学槽支持自动换液、补液及定时/定量补液，自动洗槽功能
6、可根据不同厂务要求制定不同种类的排放方案
7、良好的设备稳定性和可靠性；
8、有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染；
9、软件和硬件的模块化设计；
10、软硬件预留MES通讯接口；
11、实时记录生产数据，多种数据分析功能；
12、选配SECS/GEM接口；
13、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能

关键词：

所属分类：

工艺制程湿法设备

8寸全自动槽式湿法工艺制程设备

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